精密機(jī)件加工被加工工件的材質(zhì)要密實(shí)；各向的同一性要好（最好為單晶）；表層硬度和彈性模量要恒定一致；可加工性要好；材料的化學(xué)成份與機(jī)械物理性能對(duì)標(biāo)準(zhǔn)值的偏差不應(yīng)超過0.1%。
選用的超精密機(jī)件加工工藝方法要與被加工材料相匹配。例如，有色金屬材料（如銅、鋁合金）宜用單點(diǎn)金剛石刀具進(jìn)行車削或銑削加工；玄色金屬材料（如鋼等）則宜選磨削與研、拋等工藝，否則得不到預(yù)期的加工效果等。
加工環(huán)境要嚴(yán)格恒溫、隔振和凈化。恒溫室（第一分隔區(qū)）中的溫度波動(dòng)不得大于±0.1°C；加工區(qū)（第二分隔區(qū)）中則不應(yīng)超過±0.01°C；環(huán)境的相對(duì)濕度要保持在40%±10%以內(nèi)；大氣壓力（如用激光丈量儀時(shí)）應(yīng)保持1MPa±0.1%；機(jī)床地基的隔振系統(tǒng)固有頻率<2Hz；加工區(qū)的凈化度應(yīng)為每立方英尺中大于0.1μm的微粒含量應(yīng)未幾于10顆。
具有能實(shí)現(xiàn)納米級(jí)（1nm ~10nm）增量進(jìn)給的機(jī)床和分辨力優(yōu)于0.1nm的丈量設(shè)備，如激光干涉儀，掃描隧道顯微鏡和原子力顯微鏡等。
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